日本pureron低壓力損失金屬氣體過濾器UCD系列
日本pureron低壓力損失金屬氣體過濾器UCD系列
金屬氣體過濾器
全部采用SUS316L材質制造，緊湊式設計、高過濾精度、耐高溫（460℃）用于ULSI制造的高性能氣體過濾器。
- UCD系列： 圓盤狀部件過濾精度0.003μm 推薦流量10～100L/min
- RGF系列： 管狀部件 過濾精度0.1～10μm 推薦流量40～60L/min
- UCS-M系列： 管狀部件 過濾精度0.003μm 推薦流量15～250L/min
低壓力損失金屬氣體過濾器 UCD系列
- 過濾器材料全部采用SUS316L，不用擔心腐蝕和中間產物，同時具備較高的耐熱性能。
- 使用氮氣（N2）輸入，當過濾器輸入側壓力為0.2MPa、流量為90SLM時，輸出側壓力損失△為0.05MPa。
- 固定或脈動方式下過濾精度經CNC確認達到0.003μm，實現了超微ULSI的制造的成品率大幅度提高。
| 過濾精度 | 0.003μm |
|---|---|
| 推薦流量 | 10～100?/min（各型號區別：參考流量特性曲線) |
| 使用壓力 | 0.98MPa(142PSIG) at20℃ |
| 容許差壓 | 0.7MPa(101.5PSIG) at20℃ |
| 使用溫度 | 460℃ |
| 外部泄漏量 | 2×10-11Pa?m3/sec以下 |
| 構成材料 | 外罩:SUS316L（電解研磨處理）元素:SUS316L 內表面粗糙度:Rmax0.7μm以下 |
| 連接零件 | 1/4"Gasket seal、其它 |
