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日本Frontier-s ZD-IDS系列：移動式無圖案表面缺陷檢測系統

發布時間： 2026-02-09　　點擊次數： 62次

工業精細化生產中，無圖案基材（裸晶圓、光學玻璃等）的缺陷檢測的難點的在于無參考圖形、檢測靈活性不足，日本Frontier-s ZD-IDS系列移動式無圖案表面缺陷檢查系統，以創新光學技術與靈活設計，為多行業提供精準、高效的質檢解決方案。
一、產品核心定位
ZD-IDS系列以“移動式+無圖案精準檢測"為核心，可靈活移動至檢測現場，無需搬運檢測對象，降低基材損傷風險；搭配專屬光學算法與傳感技術，精準捕捉微小缺陷，無圖案表面移動式檢測空白，兼顧靈活性與精度。
二、核心技術亮點
系統融合多項核心技術，實現“無參考、高精準、快響應"檢測，關鍵亮點如下：
（一）高精度光學檢測
采用明暗場協同照明與量子點CCD傳感器，自動切換檢測模式，可捕捉微小顆粒、劃痕、凹陷等缺陷，最小檢測精度達10μm，遠超人工檢測水平。
（二）專屬無圖案識別算法
摒棄傳統圖像對比，通過基材光學特性建模識別缺陷，誤判率≤0.1%、漏檢率≤0.05%，支持在線模型更新，適配多品類基材檢測。
（三）移動式集成設計
輕量化機身搭配可調節滾輪，可靈活轉運至各檢測工位，無線傳輸+便攜式操作終端，支持遠程控制與數據追溯，適配0-40℃工業環境穩定運行。
（四）全流程自動化
自動完成圖像采集、缺陷識別與結果輸出，檢測效率較人工提升5-10倍，可替代3-5名檢測人員，支持流水線在線檢測，不中斷生產。
三、核心優勢
精準：10μm級檢測精度，誤判率、漏檢率遠優于行業平均；
靈活：移動式設計，無需搬運，適配大型基材與現場檢測；
高效：自動化檢測，支持在線批量檢測，大幅提升質檢效率；
易用：操作簡便、數據可追溯，維護便捷，無需專業培訓。
四、核心應用場景
廣泛適配多行業無圖案基材檢測，核心場景包括：
（一）半導體行業
無接觸檢測裸晶圓表面顆粒、劃痕等缺陷，助力提升芯片制造良率。
（二）金屬加工行業
現場檢測拋光金屬件、模具的劃痕、氧化斑點等，避免不合格產品流入下工序。
（三）光學元件行業
精準檢測光學玻璃、鏡片的微小缺陷，保障光學性能穩定。
（四）塑膠制品行業
流水線在線檢測拋光塑膠件的劃痕、色差等，優化生產流程，降低人工成本。
五、總結與展望
ZD-IDS系列憑借核心技術突破，解決了無圖案基材檢測的行業痛點，為各行業提供高效可靠的質檢支撐。未來將持續融合前沿技術，優化檢測精度與速度，拓展定制化方案，助力工業質檢智能化升級。

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日本Frontier-s ZD-IDS系列：移動式無圖案表面缺陷檢測系統

一、產品核心定位

二、核心技術亮點

（一）高精度光學檢測

（二）專屬無圖案識別算法

（三）移動式集成設計

（四）全流程自動化

三、核心優勢

四、核心應用場景

（一）半導體行業

（二）金屬加工行業

（三）光學元件行業

（四）塑膠制品行業

五、總結與展望

四、核心應用場景

五、總結與展望