PFA全接液半導體藥液在線加熱器：Ekusa ECN-60P低溫熱管理技術

發布時間： 2026-02-07　　點擊次數： 81次

一、產品概述

日本Ekusa（江草電機）ECN-60P型在線加熱器是專為半導體藥液清洗裝置設計的緊湊型直列式加熱解決方案。作為ECN系列標準功率型號（系列涵蓋ECN-30P至ECN-240P），該產品采用全氟樹脂（PFA）接液部結構，結合低溫加熱器設計理念，在確保高純度藥液處理的同時，實現了對流動波動與外部沖擊的強耐受性。

二、核心技術架構

2.1 材料純化工程

全PFA接液部設計：所有接觸藥液部件均采用高純度PFA制造，從根本上杜絕金屬離子析出與雜質溶出，滿足半導體級工藝要求
強腐蝕兼容：可安全處理含（HF）等強腐蝕性藥液

2.2 低溫熱管理策略

低溫加熱元件：避免藥液局部過熱導致的化學性質劣化
熱慣性控制：停電或緊急停機時，溫度上升幅度控制在約10℃范圍內，防止熱沖擊

2.3 多重安全監測體系

過熱報警傳感器：實時監測加熱器本體溫度，異常時觸發報警并切斷電源
液漏傳感器：檢測PFA管路或連接部位的微量滲漏

三、結構設計與工程特性

技術特征	工程價值
緊湊型設計	便于既有清洗設備管線集成，空間適應性強
電氣兼容性	可直接利用現有控制系統，降低改造成本
抗沖擊結構	耐受藥液流動波動與外部機械沖擊

四、應用場景

主要應用于半導體制造濕法工藝：

RCA清洗：SPM、APM等高溫藥液加熱
刻蝕后清洗：基藥液溫度精準控制
CMP后清洗：去除顆粒與金屬污染物的藥液恒溫輸送

五、技術對比

相較于Ekusa EHS型超純水加熱器（電磁感應非接觸式），ECN系列采用直列接觸式加熱，更適合需要快速升溫且熱容量要求較高的藥液處理場景。

六、結語

Ekusa ECN-60P通過PFA材料工程、低溫熱控制與多重安全監測的集成設計，為半導體藥液清洗提供了高可靠性、高純度的在線加熱解決方案，體現了日本精密設備制造商在半導體濕法工藝領域的深厚技術積累。

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