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Techvision UVC-200/300：365nm水冷UV-LED晶圓固化系統的低溫固化技術突破
發布時間： 2026-02-06 點擊次數： 60次產品定位日本Techvision推出的UVC-200/300系列，是專為半導體晶圓UV膠帶剝離工藝設計的桌面型UV-LED固化裝置。UVC-200對應8英寸晶圓，UVC-300對應12英寸晶圓，另提供全自動Cassette-to-Cassette機型（UVC-200A/300A）。2. 核心技術創新- 365nm單波長冷光源：采用水冷散熱高功率LED驅動，輸出250mW/cm2，消除傳統汞燈的紅外熱輻射，實現真正的常溫照射，保護熱敏晶圓
- 往復掃描曝光：光源橫向掃描+晶圓旋轉，確保全區域光照均勻，避免局部欠固化
- 低耗N?吹掃：內置自動氮氣置換，抑制氧氣阻聚，氣體消耗量比傳統系統降低30%
3. 關鍵參數指標 參數 光源波長 365nm 照射強度 250mW/cm2（距工件10mm） 支持晶圓 200mm/300mm 冷卻方式 水冷+風冷 光源壽命 >20,000小時 手動型尺寸 750×640×575mm 4. 應用價值針對晶圓減薄/切割后的UV膠帶光降解工藝，實現芯片無損拾取、無殘膠剝離。相比2kW高壓汞燈，LED方案啟動瞬間完成、能耗降低60%以上、無汞環保、光源冷態可維護，是半導體后道制程光固化的技術換代方案。
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