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面向半導體腐蝕環境：Diavac TRP-31皮拉尼真空計設計亮點

發布時間： 2025-11-11　　點擊次數： 164次

在半導體刻蝕、CVD、離子注入等工藝段，真空計不僅要面對 HF、HCl、Cl?、BCl? 等強腐蝕性氣體，還需在 5×10?2 Pa ～大氣壓的寬范圍內保持長期穩定。Diavac 最新一代 TRP-31 皮拉尼真空計針對上述“腐蝕 + 寬壓"雙重挑戰，在傳感器結構、材料選型、溫度補償與智能診斷四個維度做出突破性設計，成為 2025 年本土 12 英寸 Fab 擴產項目中國產替代率最高的皮拉尼單元。
一、全 PFA 隔離測量頭：把腐蝕介質與金屬燈絲隔開
傳統皮拉尼傳感器將鎢或鉑燈絲直接暴露于真空側，腐蝕氣體可在高溫下與燈絲形成脆性氯化物，導致 3～6 個月就斷絲。TRP-31 采用“全 PFA 套筒 + 微孔擴散"方案：
測量腔由 1 mm 厚高純 PFA 一體注塑，內壁做 0.2 µm 鏡面拋光，減少腐蝕性氣體吸附；
燈絲被封裝在 ∅4 mm 的 PFA 微腔內，通過 30 µm 激光鉆孔與主真空連通，既保證氣體導熱通路，又使腐蝕粒子在到達燈絲前被壁面“冷凝捕獲"；
套筒與不銹鋼法蘭之間用全氟彈性體 O-ring 二次密封，實現“零金屬"暴露。
實測在 BCl?/Cl? 刻蝕尾氣中連續運行 8 個月，燈絲質量損失 <1 µg，漂移 <2 %。
二、雙燈絲 + 脈沖切換：壽命翻倍、無需停機維護
TRP-31 內部并聯兩根相同規格鉑銠燈絲，由 MCU 以 0.5 Hz 脈沖交替工作。當其中一根出現阻值異常（>±5 %）時，系統自動切換至另一根并上報預警。
• 單根燈絲實際占空比 <50 %，表面氯化速率降低 60 %；
• 切換過程 <20 ms，輸出信號無中斷，避免工藝腔體因真空跳變而宕機；
• 用戶可在維護窗口期離線更換故障燈絲，實現在線“零停機"。
統計 2024 H2 三家 Fab 數據，平均維護間隔從 6 個月延長至 14 個月。
三、數字溫度補償引擎：把“腐蝕熱擾動"吃掉
腐蝕性氣體往往伴隨放熱或吸熱反應，導致傳感器殼體溫度瞬變。TRP-31 在 PFA 套筒外壁嵌入 0.3 mm NTC 陣列（4 點），MCU 以 64 Hz 采樣并建立“殼溫-燈絲-導熱"三維模型，實時修正壓力讀數。
• 補償后 -10 ℃～+60 ℃ 范圍內的滿量程誤差 ≤±3 %，優于傳統模擬補償的 ±15 %；
• 用戶可在 GUI 自定義氣體曲線（N?、Ar、CF?、HCl 等 8 組），切換工藝配方時一鍵調用，無需重新校準。
四、Modbus-RS485 + 自診斷：讓腐蝕失效“可見"
TRP-31 放棄 0–10 V 模擬輸出，全系標配隔離型 RS485，支持 Modbus-RTU，可直接與 Etcher 上位機對接，實現：
實時輸出燈絲阻值、殼溫、腐蝕計數器（可重置），方便 FDC 做趨勢預警；
內置“腐蝕指數"算法，根據阻值漂移速率自動判斷傳感器剩余壽命，并在 30 % 壽命時觸發郵件；
支持遠程空氣校準（One-touch Auto Zero），潔凈腔體破真空后 30 s 完成，無需工程師進場。
結語
從“PFA 隔離"到“雙燈絲脈沖"，再到“數字補償 + 自診斷"，TRP-31 把皮拉尼真空計在半導體腐蝕場景中的可靠性、維護性與數據可視性推到新高度。隨著 3 nm 以下節點及金屬刻蝕比例持續提升，TRP-31 及其后續型號有望成為國產真空量測替代鏈中的關鍵一環，為 Fab 提供更高層級的工藝穩定性與經濟性保障。

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