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日本大冢電子Smart膜厚儀的技術(shù)特點(diǎn)
發(fā)布時(shí)間： 2025-07-14 點(diǎn)擊次數(shù)： 333次日本大冢電子(Otsuka)的Smart膜厚儀是一款手持式、高精度的測(cè)量設(shè)備，專為現(xiàn)場(chǎng)使用而設(shè)計(jì)。該設(shè)備能夠測(cè)量0.1μm單位的膜厚，并且具有非破壞性的測(cè)量能力，適用于具有形狀的樣品。此外，Smart膜厚儀不受基材材質(zhì)的限制，可以測(cè)量其鍍膜。
Smart膜厚儀的測(cè)量原理基于反射分光法(光干涉法)，這是一種非破壞性測(cè)量方法。該設(shè)備的膜厚測(cè)量范圍為1μm至50μm，顯示上限為60μm，重復(fù)精度達(dá)到2.1σ 0.01μm(SiO2膜1μm)。測(cè)量時(shí)間極短，僅需1秒內(nèi)，且測(cè)量層數(shù)為1層。數(shù)據(jù)輸出可以通過附屬操作屏幕顯示或以USB輸出Excel檔案，測(cè)量點(diǎn)大小為Φ1mm以下，重量約為1.1kg。
該設(shè)備還提供了筆型探頭選配，能夠測(cè)量狹窄區(qū)域或形狀的樣品，探頭Φ6mm。此外，還有非接觸式載臺(tái)選配，對(duì)于濕膜或半導(dǎo)體晶圓等不想接觸的樣品，可以通過自由設(shè)定探頭位置進(jìn)行非接觸測(cè)量。這些特點(diǎn)使得Smart膜厚儀在產(chǎn)品開發(fā)、產(chǎn)線設(shè)定、質(zhì)量管理以及售后服務(wù)等多個(gè)領(lǐng)域都有廣泛的應(yīng)用場(chǎng)景。
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